반도체 장비용 세라믹 히터. 미코세라믹스 사진제공
[더스탁=고명식 기자] 동구바이오제약(006620)의 신기술금융 자회사 로프티록인베스트먼트가 ‘로프티록 반도체 신기술조합 1호’를 설립하고 반도체용 세라믹 부품소재 기업 ‘미코세라믹스’에 38.5억원의 투자를 단행했다. 2021년에 설립된 로프티록인베스트먼트(대표이사 김도형)는 물리화학과 인공지능을 결합한 신약설계 소프트웨어 기업 갤럭스와 단백질 분해 신약 개발 바이오 벤처 핀타라퓨틱스에 투자 한 이력을 가지고 있다. 갤럭스는 2020년 9월 서울대학교 석차옥 교수와 제자들이 설립한 신약개발 플랫폼 기업이다.
로프티록인베스트먼트가 이번에 투자를 단행한 미코세라믹스(대표이사 여문원)는 코스닥 상장기업 미코(059090)의 자회사다. 미코세라믹스는 2020년 미코의 물적분할로 설립된 법인이다. 설립 당시 자본금은 20억원이었지만, 외부 투자를 유치해 2021년 감사보고서 기준 미코세라믹스의 자본금은 27억원이다. 미코는 미코세라믹스 지분 55.5%를 보유한 최대주주며 삼성전자는 지분율 13.72%로 2대주주다. 클라비스 신기술조합측이 2개의 펀드로 17.94%의 지분을 보유하고 있으며 린드먼아시아측 펀드가 10.69%, 린드먼-우리기술금융투자조합이 2.16%의 지분을 가지고 있다. 이번 투자로 로프티록인베스트먼트의 신기술1호 조합도 미코세라믹스의 주요 주주로 이름을 올리게됐다.
2020년 2월 설립된 미코세라믹스는 임직원 385명 규모의 고기능성 세라믹스 부품 생산 기업이다. 이 회사는 2021년 매출 971억원에 155억원의 영업이익, 100억원의 당기순익을 기록했다. 매출은 2020년 대비 56.5% 늘었고 영업이익은 68.4% 증가했다. 당기순익도 17% 가량 늘었다.
미코세라믹스는 반도체용 세라믹 히터 수요 증가에 선제적으로 대응하기 위해 신공장 설계를 시작했다. 완공은 2024년이다. 미코세라믹스는 반도체 장비용 세라믹소재를 생산한다. 주요 품목은 세라믹 히터와 정전척(ESC), 세라믹 파츠 등이다. 세라믹 히터 매출 비중이 70%에 이른다. 정전척(ElectroStatic Chuck)은 반도체 장비에서 정전기의 힘을 이용해 웨이퍼를 고정하는 부품이다. 세라믹 히터는 반도체 CVD 증착 공정에 사용되는 부품으로 웨이퍼에 열을 가해주는 역할을 한다. 주요 수요처는 원익IPS와 테스, ASM인터내셔널 등 증착장비업체들과 삼성전자와 SK하이닉스 (KS:000660) 등 반도체 기업이다.