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[더스탁=김태영 기자] 반도체 특수가스 국산화 선도기업 티이엠씨가 미국 나스닥 상장사 인테그리스(Entegris Inc)가 제기한 반도체 이온 주입용 안전용기 특허소송에서 승소했다고 밝혔다. 이에따라, 티이엠씨의 국산 반도체 특수가스 양산이 본격화될 것으로 기대된다.
인테그리스는 지난 2020년 12월 티이엠씨가 개발한 안전용기에 대해 서울지방법원에 특허권침해금지 및 손해배상 소송을 제기했다. 특허심판원은 티이엠씨측 손을 들어 해당 특허가 무효하다고 심결했다. 서울지법도 기각했고 추가 항소 없이 약 2년 만에 소송이 완전히 종결됐다. 티이엠씨가 독자 기술을 인정받은 셈이다.
특허권을 놓고 대치한 안전용기는 반도체 공정에 사용되는 맹독성의 특수가스 누출을 차단하는 기능을 한다. 이온주입(Ion Implant) 장비가 운전되는 클린룸(Clean Room) 안에 장착해서 사용한다. 티이엠씨는 독자적 기술을 통해 안전용기(SVC Package, Safety Cylinder Valve)를 개발하고 제조하는 데 성공했다. 2021년부터 양산, 고객사에 공급하고 있다.
반도체 특수가스 안전용기는 그간 글로벌 공급사인 인테그리스와 린데가 시장을 주도해왔다. 티이엠씨는 이번 특허권 승소로 반도체 특수가스 시장에서 제품 공급 기회가 많아질 것이란 예측이다.
유원양 티이엠씨 대표는 “이번 소송을 통해 티이엠씨 독자 기술을 인정받았다”며 “안정적인 소재 공급으로 해외 의존도 완화에 기여할 것”이라고 말했다.
지난달 코스닥 상장 예심을 통과한 티이엠씨는 2015년 설립 이후 작년까지 연평균 73.8%의 성장을 지속하고 있다. 연결기준 지난해 매출은 902억 원에 127억 원의 영업이익과 106억 원의 당기순익을 올렸다. 이 회사는 반도체 핵심 공정에 사용되는 다양한 특수가스를 자체 기술력으로 개발해 공급하고 있다. 엑시머 레이저 가스(Excimer Laser gas)와 제논(Xe), 크립톤(Kr) 등 희귀가스부터 에칭공정용 CF계열과 일산화탄소(CO), 황화카보닐(COS) 등은 물론 증착 공정용 혼합가스인 B2H6(디보란)까지 다양한 특수가스 제품을 양산하고 있다.
