는 전 세계 집적 회로(IC) 제조에 사용되는 반도체 웨이퍼 처리 장비를 설계, 제조, 판매 및 지원합니다. 이 회사의 드라이 스트립 제품에는 에지 메모리 및 파운드리/로직 고객에게 레지스트 드라이 스트립 기능을 제공하는 패러데이 차폐 유도 결합 플라즈마(ICP) 기술을 특징으로 하는 SUPREMA 스트립 시스템이 포함됩니다. 이 회사의 식각 제품은 첨단 메모리 및 파운드리/로직 웨이퍼 팹에서 생산 및 공정 개발을 위한 식각 바이어스 제어와 독점적인 패러데이 차폐 ICP 플라즈마 소스를 결합한 패러다임E 및 알파인 시스템으로 구성됩니다. 기존의 고속 열처리 제품으로는 양면 웨이퍼 가열 및 차동 열 에너지 제어를 기반으로 IC 생산에 사용되는 Helios XP와 게이트 어닐 및 활성화 공정 요구 사항에 대한 열 사이클 시간을 단축할 수 있는 아크 램프 기술을 갖춘 Millisecond Anneal 제품으로 구성된 Millios 시스템 등이 있습니다. 이 회사는 메모리, 파운드리, 로직 디바이스 제조업체에 직접 제품을 판매하거나 유통 계약을 통해 제품을 판매합니다. 는 1988년에 설립되었으며 캘리포니아 프리몬트에 본사를 두고 있습니다.