에스케이머티리얼즈주식회사(구 오씨아이머티리얼즈)는 특수 가스 및 산업 가스의 제조 및 판매에 종사하는 한국 기반 회사입니다. 회사는 반도체, 디스플레이 패널 제조 과정에 사용되는 특수가스 제조 사업과 산소, 질소, 알곤, 탄산가스 등을 생산하는 산업가스 제조 사업을 하고 있습니다.회사는 주로 화학기상증착 챔버 내부벽의 잔류물을 제거하기 위한 용도로 사용되는 삼불화질소; 반도체의 웨이퍼에 실리콘 증착을, TFT-LCD의 유리 기판 위 TFT에 실리콘 증착을 위한 용도로 사용되는 실란; 화학기상증착 공정 동안 접점 플러그를 형성하는 육불화텅스텐; SiH4 화학기상증착과 애피텍셜 실리콘 증착을 위해 암모니아와 함께 사용되는 실리콘 전구체 가스인 디클로로실란을 생산합니다.
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