는 일본 및 국제적으로 진공 장비 및 응용 사업을 하고 있습니다. 스퍼터링, 플라즈마 CVD, 유기 EL 제조, 롤형 진공 증착, 진공 증착, 롤업 스퍼터링 장비 및 기타 장비를 포함한 FPD 제조 장비와 에칭, 이온 주입, 애싱, 웨이퍼 전처리, 초고진공 장비 등을 포함한 반도체 및 전자 부품 제조 장비를 제공합니다. 또한 건식, 오일 로터리, 기계식 부스터, 오일 확산, 이온, 터보 분자, 냉동 펌프 등 다양한 진공 펌프와 진공 게이지 및 밸브, 리크 감지기, 가스 분석기, 증착 전원 공급 장치, 증착 컨트롤러, 진공 이송 로봇, 각종 진공 부품 등을 공급하고 있습니다. 또한 진공 용융, 열처리, 소결, 브레이징로 등으로 구성된 일반 산업 장비와 동결 진공 건조, 진공 증류 장비, 헬륨 누출 테스트 장비 등을 제공합니다. 또한 오거전자, X-선 광전자, 이차 이온 질량 분석기, 반도체용 마스크 블랭크, 평판 디스플레이 패널, 위탁 필름 형성 가공 등을 제공합니다. 또한 스퍼터링 타겟, 기상 증착, 티타늄/탄탈륨 가공, 고융점 활성 금속, 표면 처리, 초미립자 및 기타 재료도 제공합니다. 는 1929년에 설립되었으며 일본 치가사키에 본사를 두고 있습니다.