이재용(오른쪽에서 두번째) 삼성전자 (KS:005930) 부회장이 지난해 10월 네덜란드 에인트호번에 위치한 ASML 본사를 찾아 EUV 장비를 살펴보는 모습. 삼성전자 제공
세계 최대 반도체 노광장비 기업인 네덜란드 ASML이 경기 화성에 2400억원을 들여 첨단 극자외선(EUV) 클러스터 조성에 나선다.
ASML은 첨단 EUV 노광장비를 독점 공급하는 기업으로 전세계 반도체 시장에서 초미세공정 경쟁을 벌이는 삼성전자와 대만 TSMC도 몇 개월을 기다려야 장비를 구매할 정도로 반도체 업계에선 '슈퍼갑'으로 불린다.
ASML과 산업통상자원부 등은 13일 이같은 내용을 담은 '첨단장비 클러스터 투자 협약'을 체결했다. ASML은 오는 2025년까지 총 2400억원을 투자하고 300명을 채용해 노광기 관련 트레이닝 센터와 재제조 공장을 구축할 계획이다. 산업부와 해당 지자체는 ASML의 인허가 지원 등을 적극 돕기로 했다.
ASML이 생산하는 EUV 설비는 웨이퍼에 빛으로 회로를 그리는 노광 공정에 쓰인다. ASML 장비는 기존 장비 193㎚(나노미터)의 14분의 1 수준인 극자외선을 쓰기 때문에 보다 정교한 작업이 가능하다. 대당 2000억원이 넘는 초고가 장비다.
삼성전자가 파운드리 분야 TSMC와의 경쟁에서 고객사를 끌어오려면 이 장비의 안정적 공급이 필수적이지만 ASML도 한 해에 수십대 밖에 못 만든다.
앞서 2019년 세계 3위 반도체 장비 업체 램리서치도 경기 용인에 연구개발(R&D) 센터 투자를 결정한 바 있다. 오는 2023년 상반기 용인지곡일반산업단지 입주를 목표로 하고 있다. 램리서치는 이곳에 원자레벨 식각기술 R&D센터를 걸립하고 생산 능력 2배 확대를 위한 제조시설을 구축할 예정이다.
노정동 한경닷컴 기자 dong2@hankyung.com
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